近日，Veeco宣布歐司朗光電半導體認證通過了其Lumina MOCVD系統(tǒng)，并將采用此系統(tǒng)生產(chǎn)高端LED產(chǎn)品，助力下一代先進光子器件的開發(fā)。

歐司朗光電半導體的首席運營官Lothar Mergili稱，歐司朗的發(fā)展核心就是在需要創(chuàng)新和重新定義技術限制的的下一代先進光子技術領域保持領先地位。

Mergili指出，事實證明Lumina MOCVD系統(tǒng)在生產(chǎn)率方面設定了新的標準，可滿足甚至超過市場要求。Veeco的先進MOCVD技術對于歐司朗而言，發(fā)揮著重要作用，未來也是如此。

Veeco介紹，新型Lumina系統(tǒng)是基于20多年的大容量MOCVD專業(yè)技術開發(fā)的，并擁有公司核心TurboDisc技術的可靠性能。為了開發(fā)下一代器件，歐司朗等領先企業(yè)追求高品質(zhì)薄膜技術，出色的一致性和可重復性，以及無可比擬的購置成本，而這些Lumina都能夠滿足。

Lumina系統(tǒng)的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技術，該技術專用于實現(xiàn)高一致性和缺陷最少化，能夠在直徑達8英寸的晶圓上沉積高質(zhì)量的AsP外延層。

此外，Lumina系統(tǒng)還可用于定制用戶的系統(tǒng)，以在量產(chǎn)IRED（紅外發(fā)光二極管）、LED、EEL（邊發(fā)射激光器）和VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）等產(chǎn)品的過程中實現(xiàn)價值最大化。